Publication: Ругейт-фильтр на основе пористого кремния как элемент оптического сенсора
Дата
2018
Авторы
Рахимов, Р. А.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Аннотация
Дипломная работа посвящена изготовлению ругейт-фильтров из пористого кремния с прогнозируемыми оптическими параметрами для использования в качестве элемента оптического сенсора методом электрохимического травления высоколегированного монокристаллического кремния p-типа. Тема исследований является весьма актуальной, подобные структуры могут быть использованы в качестве высокочувствительных биологических и газовых сенсоров.
Описание
Уровень образования: специалитет; Код направления/специальности: 140303; Группа: Т11-81
Ключевые слова
ВКР , Выпускная квалификационная работа
Цитирование
Рахимов, Р. А. Ругейт-фильтр на основе пористого кремния как элемент оптического сенсора : Выпускная квалификационная работа, специалитет, 140303 / Р. А. Рахимов ; рук. работы Мартынов Игорь Леонидович, 2018