Publication:
Исследование влияния технологии формирования омических контактов к гетероструктурам на основе GaN на их электрофизические свойства.

Простая страница элемента
dc.contributor.advisorКаргин, Н. И.
dc.contributor.authorБурдыкин, М. С.
dc.contributor.authorБурдыкин, Максим Сергеевич
dc.date.accessioned2025-02-13T10:05:46Z
dc.date.available2025-02-13T10:05:46Z
dc.date.issued2015
dc.descriptionУровень образования: бакалавриат; Код направления/специальности: 140800; Группа: Т08-67А
dc.description.abstractВ ходе данной работы было исследовано влияние технологии формирования омических контактов к гетероструктурам на основе GaN на их электрофизические свойства. Для создания омического контакта к n-GaN использовалась многослойная металлизация Ti/Si/Ti/Al/Ni/Au, полученная методом термического резистивного испарения, с последующим отжигом. Проведено исследование влияния температуры отжига на удельное сопротивление омического контакта и определен оптимальный режим отжига для получения наименьшего сопротивления. Полученное удельное сопротивление контактов удовлетворяет поставленным целям и составляет 0,42 Ом•мм. Ключевые слова: омический контакт, транзистор. Пояснительная записка к дипломному проекту изложена на 38 страницах, содержит 4 таблицы и 11 рисунков, список использованных источников из 66 наименований.
dc.identifier.citationБурдыкин, М. С. Исследование влияния технологии формирования омических контактов к гетероструктурам на основе GaN на их электрофизические свойства. : Выпускная квалификационная работа, бакалавриат, 140800 / М. С. Бурдыкин ; рук. работы Каргин Н.И., 2015
dc.identifier.urihttps://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/36490
dc.languageruru
dc.subjectВКР
dc.subjectВыпускная квалификационная работа
dc.titleИсследование влияния технологии формирования омических контактов к гетероструктурам на основе GaN на их электрофизические свойства.
dc.typeВКР
dspace.entity.typePublication
relation.isAuthorOfPublication791b9dcb-b29e-48b2-b07b-5f87650a9031
relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery791b9dcb-b29e-48b2-b07b-5f87650a9031
Файлы
Коллекции
Выпускные квалификационные работы