Publication: Исследование влияния элементного состава на удельное электросопротивление покрытий Ti–B–C, полученных методом магнетронного напыления
| creativeworkseries.issn | 2079-5629 (Print) | |
| dc.contributor.author | Кирюханцев-Корнеев, Ф. В. | |
| dc.contributor.author | Чертова, А. Д. | |
| dc.contributor.author | Куц, В. В. | |
| dc.contributor.author | Погожев, Ю. С. | |
| dc.date.accessioned | 2024-10-27T15:02:31Z | |
| dc.date.available | 2024-10-27T15:02:31Z | |
| dc.date.issued | 2024 | |
| dc.description.abstract | Методом магнетронного распыления с использованием гетерофазной мишени TiB2–TiC, при осаждении на наклонную подложку Si (111), получены покрытия Ti–B–C различного состава. Проведены исследования методами оптической эмиссионной спектроскопии, рентгенофазового анализа, растровой электронной микроскопии. Удельное электросопротивление измерено четырехзондовым методом. Покрытия имели плотную малодефектную структуру на основе гексагональной фазы TiB2 и характеризовались равномерным распределением элементов по толщине. Установлено, что при увеличении содержания титана в покрытиях с 27 до 42 ат. % значение удельного электросопротивления снижалось с 314 до 249 мкОм·см. | |
| dc.identifier.citation | Исследование влияния элементного состава на удельное электросопротивление покрытий Ti–B–C, полученных методом магнетронного напыления [Text]. / Кирюханцев-Корнеев Ф. В. И др. // Ядерная физика и инжиниринг. - 2024. - 15, 6. - С. 547–551 | |
| dc.identifier.doi | 10.56304/s2079562924060186 | |
| dc.identifier.issn | 2079-5629 | |
| dc.identifier.uri | https://elibrary.ru/item.asp?id=71318145 | |
| dc.identifier.uri | https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/15832 | |
| dc.relation.ispartof | Ядерная физика и инжиниринг | |
| dc.subject | удельное электросопротивление | |
| dc.subject | Ti–B–C | |
| dc.subject | TiC | |
| dc.subject | TiB2 | |
| dc.subject | покрытия | |
| dc.subject | магнетронное распыление | |
| dc.title | Исследование влияния элементного состава на удельное электросопротивление покрытий Ti–B–C, полученных методом магнетронного напыления | |
| dc.type | journal-article | |
| dspace.entity.type | Publication | |
| journal.title | Ядерная физика и инжиниринг | |
| journalvolume.identifier.name | Ядерная физика и инжиниринг | |
| oaire.citation.issue | 6 | |
| oaire.citation.volume | 15 | |
| relation.isJournalIssueOfPublication | 71d5fd71-fcea-45f2-bcee-b38bc7dd0865 | |
| relation.isJournalIssueOfPublication.latestForDiscovery | 71d5fd71-fcea-45f2-bcee-b38bc7dd0865 | |
| relation.isJournalOfPublication | 95520e8c-f0fa-4c2d-b12a-cd92b0a708a0 |