Publication: Исследование влияния элементного состава на удельное электросопротивление покрытий Ti–B–C, полученных методом магнетронного напыления
Дата
2024
Авторы
Кирюханцев-Корнеев, Ф. В.
Чертова, А. Д.
Куц, В. В.
Погожев, Ю. С.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Аннотация
Методом магнетронного распыления с использованием гетерофазной мишени TiB2–TiC, при осаждении на наклонную подложку Si (111), получены покрытия Ti–B–C различного состава. Проведены исследования методами оптической эмиссионной спектроскопии, рентгенофазового анализа, растровой электронной микроскопии. Удельное электросопротивление измерено четырехзондовым методом. Покрытия имели плотную малодефектную структуру на основе гексагональной фазы TiB2 и характеризовались равномерным распределением элементов по толщине. Установлено, что при увеличении содержания титана в покрытиях с 27 до 42 ат. % значение удельного электросопротивления снижалось с 314 до 249 мкОм·см.
Описание
Ключевые слова
удельное электросопротивление , Ti–B–C , TiC , TiB2 , покрытия , магнетронное распыление
Цитирование
Исследование влияния элементного состава на удельное электросопротивление покрытий Ti–B–C, полученных методом магнетронного напыления [Text]. / Кирюханцев-Корнеев Ф. В. И др. // Ядерная физика и инжиниринг. - 2024. - 15, 6. - С. 547–551