Publication: ГЕТЕРОДИННЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ СТОЛА ЭЛЕКТРОННОГО ЛИТОГРАФА
Дата
2025
Авторы
Ребезов, А. В.
Михайлюк, А. В.
Тищенко, И. Ю.
Губский, К. Л.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Аннотация
Создана и реализована оптическая модель двухпроходного гетеродинного лазерного интерферометра с разрешением ~10 нанометров с устойчивостью к угловым смещениям измерительного зеркала на литографическом столе.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Гетеродинный интерферометр для измерения перемещений стола электронного литографа / Ребезов А. В. [и др.] // Лазерные, плазменные исследования и технологии - ЛаПлаз-2025 : Сборник научных трудов XI Международной конференции. - 2025. - С. 57