Publication: Модели и методы синтеза и легирования массивов углеродных нанотрубок для создания изделий кремний-углеродной наноэлектроники
Дата
2023
Авторы
Павлов, А. А.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
ФГБУН Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН
Аннотация
Описание
дис. ... доктора физ.-мат. наук: 2.2.2 - Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств
Ключевые слова
Плазмохимический синтез , Нанотехнология , Наночастицы , Нанотрубки , Легирование , 2.2.2 - Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств
Цитирование
Павлов, А. А. Модели и методы синтеза и легирования массивов углеродных нанотрубок для создания изделий кремний-углеродной наноэлектроники : дис. ... доктора физ.-мат. наук: 2.2.2 - Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств / А. А. Павлов ; науч. конс.: А. Н. Сауров, С. В. Булярский ; [Место защиты: Нац. исслед. ядерный ун-т "МИФИ"]. - Москва : ФГБУН Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН, 2023. - 38 с.