Персона: Бурдыкин, Максим Сергеевич
Email Address
Birth Date
Научные группы
Организационные подразделения
Статус
Фамилия
Имя
Имя
Результаты поиска
ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ И ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ПРОЗРАЧНЫХ ПРОВОДЯЩИХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ ОКСИДА ИНДИЯ-ОЛОВА
2017, Бурдыкин, М. С., Бурдыкин, Максим Сергеевич, Каргин Николай Иванович
Исследование влияния технологии формирования омических контактов к гетероструктурам на основе GaN на их электрофизические свойства.
2015, Бурдыкин, М. С., Бурдыкин, Максим Сергеевич, Каргин Н.И.
В ходе данной работы было исследовано влияние технологии формирования омических контактов к гетероструктурам на основе GaN на их электрофизические свойства. Для создания омического контакта к n-GaN использовалась многослойная металлизация Ti/Si/Ti/Al/Ni/Au, полученная методом термического резистивного испарения, с последующим отжигом. Проведено исследование влияния температуры отжига на удельное сопротивление омического контакта и определен оптимальный режим отжига для получения наименьшего сопротивления. Полученное удельное сопротивление контактов удовлетворяет поставленным целям и составляет 0,42 Ом•мм. Ключевые слова: омический контакт, транзистор. Пояснительная записка к дипломному проекту изложена на 38 страницах, содержит 4 таблицы и 11 рисунков, список использованных источников из 66 наименований.