Персона:
Козырев, Антон Андреевич

Profile Picture
Email Address
Birth Date
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Инженерно-физический институт биомедицины
Цель ИФИБ и стратегия развития – это подготовка высококвалифицированных кадров на базе передовых исследований и разработок новых перспективных методов и материалов в области инженерно-физической биомедицины. Занятие лидерских позиций в биомедицинских технологиях XXI века и внедрение их в образовательный процесс, что отвечает решению практикоориентированной задачи мирового уровня – диагностике и терапии на клеточном уровне социально-значимых заболеваний человека.
Статус
Фамилия
Козырев
Имя
Антон Андреевич
Имя

Фильтры

20201
1
1
Сброс фильтров

Настройки

Автор: Burtsev, D. N. ×

Результаты поиска

Теперь показываю 1 - 1 из 1
  • Уменьшенное изображение
    Публикация
    Только метаданные
    Using the RGB data of bright-field optical microscopy to efficiently monitor the surface cleanliness of the active elements of semiconductor wafers in the planar production cycle
    (2020) Kozyrev, A. A.; Goreeva, M. V.; Burtsev, D. N.; Eliseeva, Yu. A.; Козырев, Антон Андреевич
    © 2020 Optical Society of AmericaIt is shown that it is promising to use the RGB data of bright-field optical microscopy to efficiently monitor the surface cleanliness of the active elements of semiconductor wafers in the planar production cycle. It is demonstrated that the film thickness on a substrate surface can be determined from RGB data obtained by means of a photosensor based on a Bayer array with known spectral response. An example shows how to use it on a GaAs semiconductor wafer with metallized active gold elements. Software has been developed for channel-by-channel comparison of a discriminated region of two pictures. An algorithm is presented for obtaining micrographs that can subsequently be analyzed and compared.