Publication: Лазерная кристаллизация кремниевых покрытий на гибких полимерных подложках: влияние металла поглощающего слоя
Дата
2024
Авторы
Сердобинцев, А. А.
Волковойнова, Л. Д.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Аннотация
Представлены результаты изучения влияния металлических покрытий на процесс кристаллизации кремния на гибких полимерных подложках. Исследование проводилось на примере таких металлов, как алюминий, олово, никель и молибден. Кристаллизация осуществлялась методом металл-индуцированной лазер-стимулированной кристаллизации (МИЛС). Для определения степени влияния металла на процесс кристаллизации структура кремния после обработки исследовалась методом комбинационного рассеяния света
Описание
Ключевые слова
ИК импульсный лазер , Индуцированная лазером кристаллизация кремния , кристаллизация кремния , Металл-индуцированная , Кристаллизация кремния , Гибкая электроника
Цитирование
Сердобинцев А. А. Лазерная кристаллизация кремниевых покрытий на гибких полимерных подложках: влияние металла поглощающего слоя / Сердобинцев А. А., Волковойнова Л. Д. // Квантовая электроника,- 2024. - 54, 10. - С. 647-651