Publication:
X-ray diffraction analysis of thin metal films with magnetic layers of Fe-Cr-Co alloy

Дата
2020
Авторы
Zayonchkovskiy, V. S.
Kyaw, A. K.
Milyaev, I. M.
Antoshina, I. A.
Isaev, E. I.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
ИАТЭ НИЯУ МИФИ
ИАТЭ НИЯУ МИФИ был образован в 1953 г. как вечернее отделение МИФИ. В 2009 г. ИАТЭ официально получил статус обособленного структурного подразделения НИЯУ «МИФИ», что дало новый мощный импульс для развития образовательной и научной деятельности на основе инновационной составляющей. В соответствии с лицензией Минобрнауки России ИАТЭ ведет образовательную деятельность в рамках очной, очно-заочной и заочной форм обучения. В настоящее время в ИАТЭ НИЯУ МИФИ осуществляется подготовка по очной форме обучения: бакалавриат- 16 направлений, специалитет – 4 направления, магистратура- 12 направлений; по очно-заочной: бакалавриат- 4 направления, специалитет – 1 направление; по заочной: бакалавриат- 3 направления, специалитет- 2 направления; аспирантура – 18 направлений. В структуре ИАТЭ 9 факультетов: физико-энергетический, естественных наук, кибернетики, социально-экономический, медицинский, вечерний, заочного обучения, подготовительный, повышения квалификации и профессиональной переподготовки специалистов. Образовательный процесс обеспечивают 18 общеобразовательных и 22 выпускающие кафедры.
Выпуск журнала
Аннотация
© 2019 EDP Sciences. All rights reserved.The aim of this study was to determine the phase composition of the structures of permanent magnet films with layers of a Fe-Cr-Co alloy of micron range thickness, also known as the Kaneko alloy. The information about the phase composition is necessary for the development of physical and technical approaches for the production of optimal structures with permanent magnet films on single-crystal silicon wafers, the films being based on a dispersion-hardened alloy with the magnetization vector in the plane of the silicon substrate. Three-layer metal films were obtained by magnetron sputtering on a silicon wafer: a dispersion-hardened alloy layer based on the Fe-Cr-Co system (3600 nm thick), ), a compensating copper layer (3800 nm), and a vanadium adhesion barrier layer (110 nm). Multilayer films formed on a silicon wafer were subjected to one-minute of annealing in a high vacuum in the temperature range of 600-650 °C. A qualitative phase analysis of the structures obtained by magnetron sputtering and subjected to a single-stage thermal treatment was performed using X-ray diffraction. It was determined that high-vacuum "rapid" one-minute of annealing of the Fe-Cr-Co dispersion-hardened alloy layer in the temperature range of 600-650 °C does not result in the formation of oxides of the main components or the s-phase. At the temperature of 630 °C, the maximum intensity of the X-ray diffraction line (110) of the a-phase is observed, which indicates the formation of a predominantly a-solid solution and serves as a basis for the correct implementation of the subsequent annealing stages for the spinodal decomposition of this phase.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
X-ray diffraction analysis of thin metal films with magnetic layers of Fe-Cr-Co alloy / Zayonchkovskiy, V.S. [et al.] // Kondensirovannye Sredy Mezhfaznye Granitsy. - 2020. - 22. - № 1. - P. 58-65. - 10.17308/kcmf.2020.22/2529
URI
https://www.doi.org/10.17308/kcmf.2020.22/2529
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85086465292&origin=resultslist
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/23252
Коллекции
Публикации