Publication: Измерение пространственного распределения параметров плазмы импульсного магнетронного разряда с расплавленным катодом
Дата
2015
Авторы
Ильичев, И. В.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Аннотация
Описание
Уровень образования: бакалавриат; Код направления/специальности: 140800; Группа: Т08-21
Ключевые слова
ВКР , Выпускная квалификационная работа
Цитирование
Ильичев, И. В. Измерение пространственного распределения параметров плазмы импульсного магнетронного разряда с расплавленным катодом : Выпускная квалификационная работа, бакалавриат, 140800 / И. В. Ильичев ; рук. работы Тумаркин Александр Владимирович, 2015