Publication: ИССЛЕДОВАНИЕ ЭВОЛЮЦИИ ЭЛЕКТРОННЫХ СВОЙСТВ НАНОКЛАСТЕРНЫХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ МЕТАЛЛОВ Ta И Mo, СФОРМИРОВАННЫХ С ПОМОЩЬЮ МЕТОДА МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
dc.contributor.author | Васильев, О. С. | |
dc.contributor.author | Борисюк, П. В. | |
dc.contributor.author | Козлова, Т. И. | |
dc.contributor.author | Лебединский, Ю. Ю. | |
dc.contributor.author | Борисюк, Петр Викторович | |
dc.contributor.author | Лебединский, Юрий Юрьевич | |
dc.contributor.author | Козлова, Татьяна Ивановна | |
dc.contributor.author | Васильев, Олег Станиславович | |
dc.date.accessioned | 2024-11-19T08:57:12Z | |
dc.date.available | 2024-11-19T08:57:12Z | |
dc.date.issued | 2017 | |
dc.description.abstract | The results of the study of electron properties evolution of monodisperse thin films consisted of Ta and Mo metal nanoclusters deposited onto the SiO2/Si(001) surface with magnetron sputtering method are presented. The changes in chemical composition and electron structure of the samples were controlled by means of X-ray photoelectron spectroscopy in the UHV analysis chamber of the Multiprobe MXPS RM VT AFM-25 surface analysis system. Susceptibility to oxidation after exposure to atmosphere was studied. | |
dc.identifier.citation | ИССЛЕДОВАНИЕ ЭВОЛЮЦИИ ЭЛЕКТРОННЫХ СВОЙСТВ НАНОКЛАСТЕРНЫХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ МЕТАЛЛОВ Ta И Mo, СФОРМИРОВАННЫХ С ПОМОЩЬЮ МЕТОДА МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ [Text.]/ Васильев О. С. [и тд.] //Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП – 2017»: труды XXIII Международной конференции Том 1. - 2017. - С. 79-82 | |
dc.identifier.uri | https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/16368 | |
dc.publisher | НИЯУ МИФИ | |
dc.subject | Конференции НИЯУ МИФИ | |
dc.title | ИССЛЕДОВАНИЕ ЭВОЛЮЦИИ ЭЛЕКТРОННЫХ СВОЙСТВ НАНОКЛАСТЕРНЫХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ МЕТАЛЛОВ Ta И Mo, СФОРМИРОВАННЫХ С ПОМОЩЬЮ МЕТОДА МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ | |
dc.type | Article | |
dspace.entity.type | Publication | |
relation.isAuthorOfPublication | 7eea65ef-887c-405b-883c-7497a5abdbdf | |
relation.isAuthorOfPublication | ee4eed50-64bf-4d61-a367-6f2f470d1ec0 | |
relation.isAuthorOfPublication | 65a13ae5-25e4-4676-8d2f-d2765b2fe168 | |
relation.isAuthorOfPublication | e233b96d-0821-439b-ab41-dc94e988d991 | |
relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery | 7eea65ef-887c-405b-883c-7497a5abdbdf | |
relation.isOrgUnitOfPublication | 543ffddb-d115-4466-be75-83b0f2c5a473 | |
relation.isOrgUnitOfPublication | dcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce | |
relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscovery | 543ffddb-d115-4466-be75-83b0f2c5a473 |