Publication: Рефлектометрия в мягком рентгеновском диапазоне с лазерно-плазменным источником излучения
Дата
2024
Авторы
Рагозин , Е. Н.
Journal Title
Квантовая электроника
Journal ISSN
Volume Title
Квантовая электроника
Издатель
Аннотация
Обсуждаются устройство и применение рефлектометров с дифракционной решеткой скользящего падения на область длин волн короче 300 Å. Основное внимание уделено рефлектометрам с лазерно-плазменным источником излучения, возбуждаемым импульсно-периодическим лазером с «умеренными» выходными параметрами (энергия в импульсе 0.1 – 1 Дж, длительность импульса 10 нс и менее). Приведенные сведения могут быть полезны при создании метрологических установок в мягком рентгеновском диапазоне спектра, как лабораторных, так и включенных в серийное производство интегральных микросхем методом проекционной рентгенолитографии.
Описание
Ключевые слова
Многослойное зеркало , VLS-решетка , Решетка Роуланда , Лазерная плазма , Рефлектометр , Проекционная рентгенолитография , Делитель пучка , Разрешающая способность , Схема Хеттрика –Андервуда
Цитирование
Рагозин Е. Н. Рефлектометрия в мягком рентгеновском диапазоне с лазерно-плазменным источником излучения // Квантовая электроника,- 2024. - 54, 9. - С. 537-544