Publication:
Automated unit of the chemical wet etching

Дата
2019
Авторы
Sukhoroslova, Y. V.
Veselov, D. S.
Voronov, Y. A.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Аннотация
© Published under licence by IOP Publishing Ltd. This paper is devoted to the development of wet etching unit and its control system. The experimental model represents the reaction chamber, equipped with the stirrer and steam-gas condenser, located inside the heated chamber. The unit is also equipped with heat-insulated reservoirs for preheating of etchants and water. The control system provides automated supplying of liquids into the reaction chamber. This allows realizing multistage etching in single technological cycle with etchants replacement and substrate washing, without its extraction from the reaction chamber. With using the unit was studied deep anisotropic etching of silicon in various alkaline etchants. Was revealed, that unit provides the uniformity of etched surface on the level of about 1 μm.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Sukhoroslova, Y. V. Automated unit of the chemical wet etching / Sukhoroslova, Y.V., Veselov, D.S., Voronov, Y.A. // IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. - 2019. - 475. - № 1. - 10.1088/1757-899X/475/1/012005
URI
https://www.doi.org/10.1088/1757-899X/475/1/012005
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85062708391&origin=resultslist
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/16660
Коллекции
Публикации