Publication:
A comparative study of the growth dynamics and tribological properties of nanocrystalline diamond films deposited on the (110) single crystal diamond and Si(100) substrates

Дата
2019
Авторы
Podgursky, V.
Bogatov, A.
Yashin, M.
Viljus, M.
Bolshakov, A. P.
Sedov, V.
Ralchenko, V.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Инженерно-физический институт биомедицины
Цель ИФИБ и стратегия развития – это подготовка высококвалифицированных кадров на базе передовых исследований и разработок новых перспективных методов и материалов в области инженерно-физической биомедицины. Занятие лидерских позиций в биомедицинских технологиях XXI века и внедрение их в образовательный процесс, что отвечает решению практикоориентированной задачи мирового уровня – диагностике и терапии на клеточном уровне социально-значимых заболеваний человека.
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
Выпуск журнала
Аннотация
© 2019 Elsevier B.V. Nanocrystalline diamond (NCD) films were grown on the High Pressure High Temperature (HPHT) (110) single crystal (SC) diamond substrates by Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (MPCVD) in methane/hydrogen/nitrogen plasma. The thickness of the films was varied between 2.2 and 22.5 μm. The cauliflower-like surface morphology was observed by means of Atomic Force Microscopy (AFM) and Scanning Electron Microscopy (SEM). The scaling behavior of NCD films growth was investigated. The relatively high value of the roughness exponent αs = 1.5–1.6 was found indicating anomalous scaling. Therefore, shadowing and diffusional instabilities can affect the film growth. The tribological properties of the NCD films deposited on the SC(110) diamond were compared with the NCD films prepared on the Si(100) substrates. Both types of specimens were tested under similar Hertzian contact pressure. The lower wear volume losses were observed on the NCD/SC(110) specimens. Therefore, the influence of substrate and substrate/film interface properties on the tribological behavior of the NCD films grown on Si(100) can be expected to cause NCD films deflection.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
A comparative study of the growth dynamics and tribological properties of nanocrystalline diamond films deposited on the (110) single crystal diamond and Si(100) substrates / Podgursky, V. [et al.] // Diamond and Related Materials. - 2019. - 92. - P. 159-167. - 10.1016/j.diamond.2018.12.024
URI
https://www.doi.org/10.1016/j.diamond.2018.12.024
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85059679885&origin=resultslist
 http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=Alerting&SrcApp=Alerting&DestApp=WOS_CPL&DestLinkType=FullRecord&UT=WOS:000461129800022
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/16440
Коллекции
Публикации