Publication: ИСПОЛЬЗОВАНИЕ СЕГМЕНТОВ LaB 6 ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ ГЕТЕРОФАЗНОЙ МИШЕНИ MoSi 2–MoB–ZrB 2
Дата
2025
Авторы
Чударин, Ф. И.
Чертова, А. Д.
Левашов, Е. А.
Кирюханцев-Корнеев, Ф. В.
Journal Title
Ядерная физика и инжиниринг
Journal ISSN
Volume Title
Ядерная физика и инжиниринг
Издатель
НИЯУ МИФИ
Аннотация
Отработана технология легирования жаростойких покрытий Mo–Zr–Si–B лантаном за счет использования при магнетронном распылении мишени 95% (90% MoSi2 + 10% MoB) + 5% ZrB2 с сегментами LaB6. Определено изменение ВАХ при использовании дополнительных сегментов. Обнаружено, что применение LaB6 приводит к снижению напряжения зажигания тлеющего разряда. Методом магнетронного распыления получены покрытия Mo–Zr–Si–B и Mo–La–Zr–Si–B c равномерным распределением элементов по толщине, низкой шероховатостью и малодефектной структурой. Использование сегментов LaB6 способствует аморфизации покрытий, а также приводит к повышению их жаростойкости при нагреве на воздухе до 1500°С.
Описание
Ключевые слова
Жаростойкость , LaB6 , ZrB2 , MoB , MoSi2 , Покрытия , Магнетронное распыление
Цитирование
Чударин Ф.И., Чертова А.Д., Левашов Е.А., Кирюханцев-Корнеев Ф.В. ИСПОЛЬЗОВАНИЕ СЕГМЕНТОВ LAB6 ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ ГЕТЕРОФАЗНОЙ МИШЕНИ MOSI2–MOB–ZRB2. Ядерная физика и инжиниринг. 2025;16(1):38-42. https://doi.org/10.56304/S2079562924060101. EDN: MOWOBP