Publication: Концепция широкополосного монохроматора по схеме Хеттрика – Андервуда для рентгеновского рефлектометра на область 6 – 27 нм
Дата
2025
Авторы
Колесников, А. О.
Вишняков, Е. А.
Логачев, М. Д.
Шатохин, А. Н.
Рагозин, Е. Н.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Аннотация
Спроектирована схема широкополосного VLS-монохроматора по схеме Хеттрика –Андервуда как части рефлектометра, ориентированного для работы с лазерно-плазменным источником мягкого рентгеновского излучения. Схема дополнена скрещенным зеркалом для увеличения пропускной способности монохроматора. Предполагается использование опорного измерительного канала для обеспечения абсолютных измерений коэффициентов отражения/пропускания и установка с этой целью делителя рентгеновского пучка, расположенного на выходе из монохроматора. Рассчитаны оптическая схема прибора, его параметры, параметры VLS-решетки, а также оптическая схема для изготовления VLS-решетки методом интерференционной литографии на длине волны 532 нм. Разрешающая способность, пропускная способность и точность литографической схемы проверены методом численной трассировки лучей.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Концепция широкополосного монохроматора по схеме Хеттрика – Андервуда для рентгеновского рефлектометра на область 6 – 27 нм / Колесников А. О. [и др.] // Квантовая электроника.- 2025.-5.-7.- С.429-434