Publication: ОПТИМИЗАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ ЛЕГИРОВАНИЯ АТОМАМИ ПЛЕНОК Al, Fe, Mo НА ПОВЕРХНОСТИ ОБРАЗЦОВ СПЛАВОВ ЦИРКОНИЯ ПОД ОБЛУЧЕНЕМ ПУЧКОВ ИОНОВ АРГОНА
Дата
2017
Авторы
Сафонов, Д. А.
Яшин, А. С.
Волков, Н. В.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Аннотация
Известно, что ионная бомбардировка пленок, нанесенных на поверхность массивного образца – подложки позволяет вводить в приповерхностный слой подложки на глубины до единиц мкм. При этом для повышения эффективности внедрения атомов из нанесенных пленок необходимо снижать скорость распыления пленок и стремиться увеличить внедрение атомов в подложку на значительные глубины с концентрациями выше предела растворимости за счет радиационно-стимулированных процессов.
Описание
Ключевые слова
Конференции НИЯУ МИФИ
Цитирование
Сафонов Д. А. ОПТИМИЗАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ ЛЕГИРОВАНИЯ АТОМАМИ ПЛЕНОК Al, Fe, Mo НА ПОВЕРХНОСТИ ОБРАЗЦОВ СПЛАВОВ ЦИРКОНИЯ ПОД ОБЛУЧЕНЕМ ПУЧКОВ ИОНОВ АРГОНА [Text.] / Сафонов Д. А., Яшин А. С., Волков Н. В.// Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП – 2017»: труды XXIII Международной конференции Том 2. - 2017. - С. 67-70