Publication: РАСПЫЛЕНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ ПОД ВОЗДЕЙСТВИЕМ ПУЧКОВ ИОНОВ ГЕЛИЯ И АРГОНА СО СРЕДНЕЙ ЭНЕРГИЕЙ 10 КЭВ
Дата
2017
Авторы
Волков, Н. В.
Сафонов, Д. А.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Аннотация
In this paper the peculiarities of formation of the surface topography caused by the diffusion of single-crystal Si substrate of different orientation with evaporated thin films under the irradiation by Ar+ and He+ ion beams with a wide energy spectrum.
Описание
Ключевые слова
Конференции НИЯУ МИФИ
Цитирование
Волков Н. В. РАСПЫЛЕНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ ПОД ВОЗДЕЙСТВИЕМ ПУЧКОВ ИОНОВ ГЕЛИЯ И АРГОНА СО СРЕДНЕЙ ЭНЕРГИЕЙ 10 КЭВ [Text.] /Волков Н. В., Сафонов Д. А. // Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП – 2017»: труды XXIII Международной конференции Том 1. - 2017. - С. 83-86