Publication: УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК
| dc.contributor.author | Сорокин, И. А. | |
| dc.contributor.author | Колодко, Д. В. | |
| dc.contributor.author | Степанова, Т. В. | |
| dc.contributor.author | Степанова, Татьяна Владимировна | |
| dc.contributor.author | Колодко, Добрыня Вячеславич | |
| dc.date.accessioned | 2024-11-27T06:42:39Z | |
| dc.date.available | 2024-11-27T06:42:39Z | |
| dc.date.issued | 2023 | |
| dc.description | Патент на изобретение | |
| dc.description.abstract | Изобретение относится к вакуумно-плазменной технике, а именно к источникам атомов металлов преимущественно для осаждения тонких металлических пленок на металлические или диэлектрические подложки в вакуумной камере. Технический результат - повышение скорости нанесения покрытий и упрощение конструкции устройства. Устройство для нанесения металлических пленок содержит вакуумную камеру, полый катод, мишень, держатель подложки, источник питания разряда положительным полюсом, соединенный с анодом, а отрицательным полюсом с катодом, а также дополнительный источник напряжения смещения. Полый катод устройства состоит из двух параллельных друг другу плоских электродов, размещенных относительно друг друга на расстоянии от 10 до 40 мм, первый электрод выполнен с возможностью водоохлаждения, при этом на его поверхности установлена мишень из распыляемого материала. Напротив первого электрода параллельно поверхности с установленной мишенью из распыляемого материала размещен второй электрод, выполненный из тугоплавкого материала в виде прозрачной сетки с ячейкой размерами от 10 мкм до 5 мм, за которым параллельно ему размещен держатель подложек на расстоянии до 100 мм. Анодом служат стенки вакуумной камеры, а дополнительный источник напряжения смещения положительным полюсом соединен с отрицательным полюсом источника питания разряда, а отрицательным полюсом с первым электродом катода. 2 ил. | |
| dc.identifier.citation | СорокинИ. А. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК / Сорокин И. А., Колодко Д. В., Степанова Т. В. - № 2022132244 ; Заявл. 2022132244. - 2023 | |
| dc.identifier.other | RU 2797582 C1 | |
| dc.identifier.uri | https://elibrary.ru/item.asp?id=54055410 | |
| dc.identifier.uri | https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/22131 | |
| dc.publisher | НИЯУ МИФИ | |
| dc.subject | Осаждение тонких металлических пленок | |
| dc.subject | Вакуумно-плазменная техника | |
| dc.subject | Патент | |
| dc.title | УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК | |
| dc.type | Patent | |
| dspace.entity.type | Publication | |
| relation.isAuthorOfPublication | 1ea56fa3-cb64-4020-ae0b-ee633fad4618 | |
| relation.isAuthorOfPublication | d637fefd-25d3-4a2d-9d90-813756555eb3 | |
| relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery | 1ea56fa3-cb64-4020-ae0b-ee633fad4618 | |
| relation.isOrgUnitOfPublication | 06e1796d-4f55-4057-8d7e-bb2f3b5676f5 | |
| relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscovery | 06e1796d-4f55-4057-8d7e-bb2f3b5676f5 |