Publication:
ПРИМЕНЕНИЕ ТЕХНОЛОГИИ МАШИННОГО ЗРЕНИЯ ДЛЯ ПОВЫШЕНИЯ ТОЧНОСТИ СФОКУСИРОВАННОГО ЛАЗЕРНОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ НА МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ СТРУКТУРЫ В ПРОЦЕССАХ ИССЛЕДОВАНИЙ И МИКРООБРАБОТКИ

Простая страница элемента
creativeworkseries.issn 2074-7128 (Print)
dc.contributor.authorМожаев, Р. К.
dc.contributor.authorПеченкин, А. А.
dc.contributor.authorЦирков, А. А.
dc.contributor.authorБелозеров, К. Г.
dc.contributor.authorЛукашин, В. П.
dc.contributor.authorБалуев, А, А.
dc.contributor.authorБалуев, Арсений Андреевич
dc.contributor.authorЛукашин, Владислав Павлович
dc.contributor.authorЦирков, Артем Николаевич
dc.contributor.authorПеченкин, Александр Александрович
dc.contributor.authorМожаев, Роман Константинович
dc.date.accessioned2024-04-11T14:47:23Z
dc.date.available2024-04-11T14:47:23Z
dc.date.issued2023
dc.description.abstractМашинное зрение – это область искусственного интеллекта, занимающаяся обработкой изображений и видеопотока при помощи специальных алгоритмов. Это позволяет устройствам анализировать визуальную информацию. Машинное зрение помогает в таких задачах, как распознавание образов, сегментация изображений, обнаружение объектов и слежение за ними. В микроскопии машинное зрение играет важную роль, в частности в лазерной сканирующей микроскопии (LSM). Лазерная сканирующая микроскопия, лазерное нанесение надрезов и лазерная коррекция топологии полупроводниковых кристаллов являются важными технологическими процессами в производстве, контроле и наладке полупроводниковых кристаллов, как на отладочных образцах, так и в серийных партиях пластин. Лазерное воздействие позволяет не только механически разделять кристаллы, но и осуществлять более деликатные и малоинвазивные воздействия, в частности подстройки сопротивления тонкопленочных резисторов или пережигание перемычек, необходимых для конфигурирования схемы и отключения неиспользуемых блоков кристалла. В работе проведен анализ основных параметров системы позиционирования в составе лазерной сканирующей установки, их влияние на точность сканирования и координат воздействия сфокусированным излучением в контрольных точках. Описаны принципы алгоритмов машинного зрения при работе с изображением сканируемого объекта и результаты апробации в задаче автоматизированного лазерного пережигания перемычек на полупроводниковой пластине. Поскольку число перемычек может достигать сотен тысяч, а системы позиционирования имеют значительные погрешности машинное зрение позволяет корректировать погрешности позиционирования и повысить точность лазерного воздействия на любом участке и этапе сканирования, что значительно повышает качество итогового результата лазерного воздействия.
dc.identifier.citationМожаев, Р., Печенкин, А., Цирков, А., Белозеров, К., Лукашин, В., & Балуев, А. (2023). ПРИМЕНЕНИЕ ТЕХНОЛОГИИ МАШИННОГО ЗРЕНИЯ ДЛЯ ПОВЫШЕНИЯ ТОЧНОСТИ СФОКУСИРОВАННОГО ЛАЗЕРНОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ НА МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ СТРУКТУРЫ В ПРОЦЕССАХ ИССЛЕДОВАНИЙ И МИКРООБРАБОТКИ. Безопасность информационных технологий, 30(4), 150-161. doi:http://dx.doi.org/10.26583/bit.2023.4.10
dc.identifier.doi10.26583/bit.2023.4.10
dc.identifier.urihttp://dx.doi.org/10.26583/bit.2023.4.10
dc.identifier.urihttps://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/10114
dc.publisherНИЯУ МИФИ
dc.subjectлазерное скрайбирование
dc.subjectмикроэлектроника
dc.subjectкоррекция топологии
dc.subjectлазерная сканирующая микроскопия
dc.subjectмашинное зрение
dc.titleПРИМЕНЕНИЕ ТЕХНОЛОГИИ МАШИННОГО ЗРЕНИЯ ДЛЯ ПОВЫШЕНИЯ ТОЧНОСТИ СФОКУСИРОВАННОГО ЛАЗЕРНОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ НА МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ СТРУКТУРЫ В ПРОЦЕССАХ ИССЛЕДОВАНИЙ И МИКРООБРАБОТКИ
dc.typeArticle
dspace.entity.typePublication
journal.titleБезопасность информационных технологий
journalvolume.identifier.nameБезопасность информационных технологий
relation.isAuthorOfPublication41bc772d-bb09-4282-96c5-7e2f5114df39
relation.isAuthorOfPublication90642bd8-03c5-4563-bfbd-b67b6d1ab0af
relation.isAuthorOfPublication728ed777-a2af-493d-8987-df4219dbe49d
relation.isAuthorOfPublication69e0f0b5-e2c8-44a1-a497-5e79154c0589
relation.isAuthorOfPublicatione5fba163-355d-4116-8151-4229dadb5809
relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery41bc772d-bb09-4282-96c5-7e2f5114df39
relation.isJournalIssueOfPublicationaa49d647-ece7-4e71-b1c5-85a5dc0387b4
relation.isJournalIssueOfPublication.latestForDiscoveryaa49d647-ece7-4e71-b1c5-85a5dc0387b4
relation.isJournalOfPublication3b9ae913-eaeb-4d29-a767-7f6ca8a0e066
relation.isOrgUnitOfPublication06e1796d-4f55-4057-8d7e-bb2f3b5676f5
relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscovery06e1796d-4f55-4057-8d7e-bb2f3b5676f5
Файлы
Original bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
1556-2270-1-PB.pdf
Size:
1.1 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Download
License bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
license.txt
Size:
3.45 KB
Format:
Item-specific license agreed to upon submission
Description:
Download
Коллекции