Publication: Исследование явления перезарядки дефектов в оксиде кремния
Дата
1998
Авторы
Гришаков, В. В.
Кузьминова, А. В.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
МИФИ
Аннотация
Описание
Ключевые слова
Оксид кремния , Полупроводниковые приборы , Неразрушающий контроль , Технологический дефект , Радиационный дефект , МОП-структуры
Цитирование
Гришаков, В. В. Исследование явления перезарядки дефектов в оксиде кремния / Гришаков В. В., Кузьминова А. В. // Научная сессия МИФИ - 1998. Сборник научных трудов. - 1998. - Ч.10: Конференция студентов и молодых ученых. Автоматика. Электроника. - С. 37-38