Publication:
ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА ДЛЯ ИСПЫТАНИЙ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВ

Файлы
elibrary_49431194_98800790.pdf(431.91 KB)
Дата
2022
Авторы
Сысоев, А. А.
Адамов, А. Ю.
Сысоева, Е. А.
Крайнов, М. Н.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Общество с ограниченной ответственностью "Лаборатория инновационных аналитических технологий"
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Аннотация
Полезная модель относится к области вакуумной техники, в частности к устройствам для испытаний электрофизических устройств при пониженном давлении. Техническим результатом полезной модели является компактность испытательного стенда, энергоэффективность, универсальность, возможность быстрого перехода между разными видами испытаний. Технический результат достигается тем, что вакуумная система для испытаний электрофизических устройств включает цилиндрическую прогреваемую испытательную вакуумную камеру с двумя фланцами размера Ду 250 CF, расположенными по торцам, к которым подключаются испытательная платформа и смотровое окно, и десятью фланцами размера Ду 40 CF, расположенными по окружности, к которым подключаются вакуумметр через адаптер с воздушным охлаждением, смотровые окна, электрические герметичные вводы в вакуум, игольчатый натекатель, вводы движения, высоковакуумный вентиль с фланцами Ду 40 CF, к которому через адаптер Ду 40 CF/ISO KF через быстроразъемное соединение подключается турбомолекулярный насос, откачиваемый мембранным форвакуумным насосом с возможностью изменения его быстроты откачивающего действия.
Описание
Патент на полезную модель
Ключевые слова
Патент , Вакуумная техника
Цитирование
ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА ДЛЯ ИСПЫТАНИЙ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВ / Сысоев, А. А. [и др.].- №2021138680; Заявл. 24.12.2021.- 2022
URI
https://elibrary.ru/item.asp?id=49431194
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/30470
Коллекции
Патенты