СПОСОБ ГЕНЕРАЦИИ ПОТОКОВ ИОНОВ ТВЕРДОГО ТЕЛА

Казиев, А. А.; Тумаркин, А. В.; Колодко, Д. В.; Колодко, Добрыня Вячеславич; Казиев, Андрей Викторович; Тумаркин, Александр Владимирович

Publication:
СПОСОБ ГЕНЕРАЦИИ ПОТОКОВ ИОНОВ ТВЕРДОГО ТЕЛА

dc.contributor.author	Казиев, А. А.
dc.contributor.author	Тумаркин, А. В.
dc.contributor.author	Колодко, Д. В.
dc.contributor.author	Колодко, Добрыня Вячеславич
dc.contributor.author	Казиев, Андрей Викторович
dc.contributor.author	Тумаркин, Александр Владимирович
dc.date.accessioned	2024-11-27T06:50:08Z
dc.date.available	2024-11-27T06:50:08Z
dc.date.issued	2023
dc.description	Патент на изобретение
dc.description.abstract	Изобретение относится к области вакуумной и плазменной техники и может быть применено для осуществления процессов ионного травления материалов, имплантации ионов металлов и полупроводников, осаждения тонкопленочных покрытий. Технический результат - повышение содержания в плазме ионов твердого тела до 90-98%. Способ предусматривает формирование плазмы импульсного магнетронного разряда высокой мощности на предварительно разогретой мишени. Импульсный разряд с параметрами - напряжение до 2 кВ, ток 10-500 А, длительность 10-1000 мкс, частота повторения до 1 кГц - создается в предварительно ионизированном объеме над поверхностью нагретой мишени, отделенной теплоизолирующей подставкой с высокой электропроводностью. Нагрев мишени проводится в магнетронном разряде постоянного тока в аргоне с плотностью мощности выше 100 Вт/см2 до температуры, при которой давление насыщенных паров материала становится порядка или выше 0,5 Па, после чего подача аргона отключается, и разряд горит исключительно в парах материала мишени. Сформированный в этой среде импульсный магнетронный разряд характеризуется степенью ионизации плазмы выше 90% для широкого спектра материалов. 1 ил.
dc.identifier.citation	Казиев, А. А. СПОСОБ ГЕНЕРАЦИИ ПОТОКОВ ИОНОВ ТВЕРДОГО ТЕЛА / Казиев, А. А., Тумаркин, А. В., Колодко, Д. В.- №2022103237; Заявл. 09.02.2022.- 2023
dc.identifier.uri	https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/22132
dc.publisher	Общество с ограниченной ответственностью "Пинч"
dc.subject	Получение плазмы
dc.subject	Вакуумная и плазменная техника
dc.subject	Патент
dc.title	СПОСОБ ГЕНЕРАЦИИ ПОТОКОВ ИОНОВ ТВЕРДОГО ТЕЛА
dc.type	Patent
dspace.entity.type	Publication
relation.isAuthorOfPublication	d637fefd-25d3-4a2d-9d90-813756555eb3
relation.isAuthorOfPublication	c70d4049-e1f0-4840-8e36-73b5eeafc0a2
relation.isAuthorOfPublication	dc983be0-d0f6-4ec3-aa50-6e90a9227b1b
relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery	d637fefd-25d3-4a2d-9d90-813756555eb3
relation.isOrgUnitOfPublication	06e1796d-4f55-4057-8d7e-bb2f3b5676f5
relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscovery	06e1796d-4f55-4057-8d7e-bb2f3b5676f5