2023, Сотсков, Д. И. , Зубаков, А. В. , Усачев, Н. А. , Жидков, Н. М. , Кузнецов, А. Г. , Ермаков, А. В. , Никифоров, А. Ю. , Кузнецов, Александр Геннадьевич, Жидков, Никита Михайлович, Усачев, Николай Александрович, Сотсков, Денис Иванович, Ермаков, Александр Викторович, Зубаков, Алексей Владимирович, Никифоров, Александр Юрьевич

Представлены результаты проектирования специализированной СВЧ библиотеки базовых элементов, предназначенной для использования в рамках отечественного КМОП технологического процесса с проектной нормой 180 нм. Библиотека включает в своем составе набор радиочастотных МОП-транзисторов для усилительного и ключевого применения, варикапы на основе МОП-структур трех типов, спиральные катушки индуктивности, МДМ-конденсаторы и прочие элементы. Библиотека предназначена для использования совместно с САПР Cadence Virtuoso IC и ориентирована на создание комплекта усилительных, генераторных и преобразовательных СВЧ сложно-функциональных блоков, а также блоков управления фазой и амплитудой сигнала приемопередающей ЭКБ. С использованием представленной библиотеки спроектирован тестовый кристалл, предназначенный для проведения исследований зондовыми методами и содержащий 13 типов базовых элементов и вспомогательные структуры для СВЧ-характеризации отечественного КМОП технологического процесса 180 нм.