Персона:
Агейченков, Дмитрий Григорьевич

Profile Picture
Email Address
Birth Date
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
Статус
Фамилия
Агейченков
Имя
Дмитрий Григорьевич
Имя

Фильтры

20181
1
1
Сброс фильтров

Настройки

Автор: Агейченков, Дмитрий Григорьевич × Тема: ВКР ×

Результаты поиска

Теперь показываю 1 - 1 из 1
  • Уменьшенное изображение
    Публикация
    Только метаданные
    Диагностика состава ионных потоков в технологических плазменных установках
    (2018) Агейченков, Д. Г.; Агейченков, Дмитрий Григорьевич; Писарев Александр Александрович
    В текущее время материалов используется во многих технологических процессах наряду с традиционными химическими методами. В некоторых областях производства плазменные технологии вытеснили химическую обработку. Важной задачей в рамках повышения эффективности плазменных процессов является контроль параметров плазмы, среди которых особое значение имеет компонентный состав. Изучение компонентного состава плазмы является крайне сложной задачей. Нередко, ввиду сложности, его измерением пренебрегают, полагаясь на измерения состава остаточного газа, что может приводить к некорректному описанию происходящих процессов. В настоящей работе изучался состав потока ионов, приходящегося на обрабатываемую поверхность, что является не менее информативным, чем компонентный состав плазмы. Цель работы – диагностика состава ионных потоков в высокочастотном индукционном (ВЧИ) и нераспыляющем магнетронном (НРМР) разрядах. Для достижения цели был поставлен ряд задач, основными из которых являются численное моделирование масс-анализатора с системой экстракции, эксперименты по получению масс-спектров на установках, их обработка и интерпретация. Для достижения поставленной цели в работе использовались методы сравнения с литературным источником, аналитического расчёта и численного моделирования, а также экспериментальный метод. В работе применялись методики оптической спектроскопии и корпускулярного масс-анализа. Получены масс-спектры потоков ионов на обрабатываемые поверхности и оптические спектры излучения плазмы в различных режимах обработки. По масс-спектрам определены оптимальные режимы для процесса плазменно-иммерсионной ионной имплантации азота (ПИИИ), а также подтверждено отсутствие фактического распыления электродов в НРМР. Определение оптимальных параметров для ПИИИ на установке с ВЧИ-разрядом произведено впервые. Также впервые проведены прямые измерения потоков ионов разных сортов в плазме НРМР, подтверждающие пренебрежимо малую интенсивность распыления.