Персона:
Решетов, Владимир Николаевич

Profile Picture
Email Address
Birth Date
Научные группы
Логотип проекта
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
Статус
Фамилия
Решетов
Имя
Владимир Николаевич
Имя

Фильтры

20191
1
Сброс фильтров

Настройки

Автор: Gubskiy, K. L. × Имеет файлы: No ×

Результаты поиска

Теперь показываю 1 - 1 из 1
  • Уменьшенное изображение
    Публикация
    Только метаданные
    3D push–pull heterodyne interferometer for SPM metrology
    (2019) Kazieva, T. V.; Gubskiy, K. L.; Kuznetsov, A. P.; Reshetov, V. N.; Казиева, Татьяна Вадимовна; Губский, Константин Леонидович; Кузнецов, Андрей Петрович; Решетов, Владимир Николаевич
    © 2019 Optical Society of America.A three-coordinate heterodyne laser interferometer has been developed to measure the displacement of the probe microscope scanner with a subnanometer resolution that provides traceability of measurements to the standard of meter through the wavelength of a stabilized He–Ne laser. Main sources of errors are investigated, and their influence is minimized so that the resulting measurement uncertainty of the system does not exceed 0.2 nm, and the resolution is 0.01 nm. The investigation of metrological characteristics of the three-coordinate interferometer was carried out with a scanning probe microscopy (SPM) NanoScan-3D using TGZ-type calibration gratings. The values measured with SPM fell within the 95% confidence interval given by Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) (Germany). SPM equipped with a laser interferometer was used to measure the characteristics of dynamic etalons of geometric dimensions.