Персона: Синельников, Дмитрий Николаевич
Загружается...
Email Address
Birth Date
Научные группы
Организационные подразделения
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
Статус
Фамилия
Синельников
Имя
Дмитрий Николаевич
Имя
1 results
Результаты поиска
Теперь показываю 1 - 1 из 1
- ПубликацияОткрытый доступAPPLICATION OF KEV-ENERGY PROTON SCATTERING FOR SURFACE ANALYSIS(НИЯУ МИФИ, 2019) Bulgadaryan, D.; Sinelnikov, D.; Kurnaev, V.; Efimov, N.; Ефимов, Никита Евгеньевич; Синельников, Дмитрий НиколаевичLow- and medium-energy ion scattering (LEIS/MEIS) are widely used techniques of surface analysis [1–4]. Conventional LEIS/MEIS setups utilize noble gas ions and electrostatic energy analyzers that makes these methods very sensitive to composition of the uppermost atomic layers of an analyzed sample. However, high neutralization probability of noble gas ions restricts LEIS/MEIS depth profiling capabilities [5]. The use of hydrogen ions with lower neutralization probability instead of noble gas provides possibility to measure the thickness of surface layer if its atomic mass is very different from that of underlying target, that is the case e.g. in nanoelectronics [6] or for redeposition of plasma-facing materials in fusion devices [7]. In this work we present simulated and experimental data on implementation of keV-energy proton scattering (KEPS) for surface analysis.