Publication:
Технология изготовления диэлектрических мембранных конструкций для формирования чувствительных элементов датчиков концентрации газа

Файлы
Veselov_Tehnologiya_izgotovleniya_dielektricheskih_2013.pdf(422.31 KB)
Дата
2013
Авторы
Веселов, Д. С.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Аннотация
Описание
автореф. дис...кандидата техн. наук (05.27.01 - твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах; 05.13.05 - элементы и устройства ВТ и систем управления)
Ключевые слова
Автор МИФИ , Датчики концентрации газа , Диэлектрические мембранные конструкции , Токопленочные технологии , 05.13.05 - элементы и устройства ВТ и систем управления
Цитирование
Веселов, Д. С. Технология изготовления диэлектрических мембранных конструкций для формирования чувствительных элементов датчиков концентрации газа : автореф. дис...кандидата техн. наук (05.27.01 - твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах; 05.13.05 - элементы и устройства ВТ и систем управления) / Д. С. Веселов ; рук. работы Ю. А. Воронов. - Москва : НИЯУ МИФИ, 2013. - 26 с.
URI
https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/12993
 https://lib-repository.mephi.ru/abstracts_of_dissertations_mephi/Veselov_Tehnologiya_izgotovleniya_dielektricheskih_2013.pdf
Коллекции
Авторефераты диссертаций