Publication:
C-V Characterization and Electric Parameters of ZrO2 Received by UV Stimulated Plasma Anodizing

Файлы
W2988896984.pdf(556.35 KB)
Дата
2019
Авторы
Kushitashvili, Z.
Bibilashvili, A.
Borisenko, V.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Аннотация
© Published under licence by IOP Publishing Ltd.Low temperature technologies creating metals oxides are a promising solution for formation integral circuit elements. In this report the electric properties of zirconia (ZrO2) received by low temperature (∼ 400' C) UV stimulated plasma anodizing have been investigated. Zirconia is a potential high-k dielectric material with potential applications as agate insulator in transistors. This dielectric distinguished by good electric parameters. For this purpose, we used C-V characterization technic and calculate dielectric constant, flatband voltage, threshold voltage, bulk potential, work function, oxide effective charge, charge concentration. The C-V measurement was carried out on Keithley Instrument Semiconductor Parameter Analyzer 4200, oxide thickness was measured by reflectometer - MprobeVis System.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Kushitashvili, Z. C-V Characterization and Electric Parameters of ZrO2 Received by UV Stimulated Plasma Anodizing / Kushitashvili, Z., Bibilashvili, A., Borisenko, V. // IOP Conference Series: Earth and Environmental Science. - 2019. - 362. - № 1. - 10.1088/1755-1315/362/1/012070
URI
https://www.doi.org/10.1088/1755-1315/362/1/012070
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85076623828&origin=resultslist
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/19046
Коллекции
Публикации