Publication: Исследование поверхности зеркал AL/MGF2 после экспозиции высокояркостным ВУФ излучением
Дата
2023
Авторы
Пасынкова, Д. С.
Новиков, П. А.
Новиков, Д. О.
Телех, В. Д.
Чесноков, Д. А.
Жупанов, В. Г.
Скрябин, А. С.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Аннотация
В работе было проведено исследование деградации поверхности зеркального покрытия Al/MgF2 под воздействием ультрафиолетового излучения от высокояркостного широкополосного плазменного источника эрозионного типа. Для управления спектральным составом излучения разряд осуществлялся в среде различных газов – неон, аргон, воздух. Проводилось исследование поверхности образцов на микронанопрофилометре с измерением шероховатости и глубины трещин, возникших после облучения. Было выявлено, что при попадании на образец квантов с энергией, не превышающей 6 эВ, образец претерпел незначительные потери в шероховатости, трещин не наблюдалось. При попадании на образец квантов с энергией ≈6–15 эВ наблюдалось испарение слоя MgF2 вблизи источника излучения, глубина трещин доходит до 55 нм. При попадании на образец квантов с энергией до 21 эВ помимо полного испарения покрытия наблюдалась сильная деградация подложки с возникновением трещин глубиной до 200 нм.
Описание
Ключевые слова
магнитоплазменный компрессор , деградация оптических покрытий
Цитирование
Исследование поверхности зеркал AL/MGF2 после экспозиции высокояркостным ВУФ излучением / Пасынкова Д. С. и др. / Ядерная физика и инжиниринг. - 2023. - 14, 6. - С. 605-611