Publication:
Технология изготовления диэлектрических мембранных конструкций для формирования чувствительных элементов датчиков концентрации газа

Простая страница элемента
dc.contributor.advisorВоронов, Ю. А.
dc.contributor.authorВеселов, Д. С.
dc.contributor.authorВеселов, Денис Сергеевич
dc.date.accessioned2024-08-12T11:43:22Z
dc.date.available2024-08-12T11:43:22Z
dc.date.issued2013
dc.descriptionавтореф. дис...кандидата техн. наук (05.27.01 - твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах; 05.13.05 - элементы и устройства ВТ и систем управления)
dc.identifier.citationВеселов, Д. С. Технология изготовления диэлектрических мембранных конструкций для формирования чувствительных элементов датчиков концентрации газа : автореф. дис...кандидата техн. наук (05.27.01 - твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах; 05.13.05 - элементы и устройства ВТ и систем управления) / Д. С. Веселов ; рук. работы Ю. А. Воронов. - Москва : НИЯУ МИФИ, 2013. - 26 с.
dc.identifier.urihttps://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/12993
dc.identifier.urihttps://lib-repository.mephi.ru/abstracts_of_dissertations_mephi/Veselov_Tehnologiya_izgotovleniya_dielektricheskih_2013.pdf
dc.languagerusru
dc.publisherНИЯУ МИФИ
dc.relation.ispartof26 c.
dc.subjectАвтор МИФИ
dc.subjectДатчики концентрации газа
dc.subjectДиэлектрические мембранные конструкции
dc.subjectТокопленочные технологии
dc.subject05.13.05 - элементы и устройства ВТ и систем управления
dc.titleТехнология изготовления диэлектрических мембранных конструкций для формирования чувствительных элементов датчиков концентрации газа
dc.typeАвтореферат диссертации канд. техн. наук
dspace.entity.typePublication
relation.isAuthorOfPublication56e14997-c521-46b3-a241-842404144391
relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery56e14997-c521-46b3-a241-842404144391
relation.isOrgUnitOfPublication06e1796d-4f55-4057-8d7e-bb2f3b5676f5
relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscovery06e1796d-4f55-4057-8d7e-bb2f3b5676f5
Файлы
Original bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
Veselov_Tehnologiya_izgotovleniya_dielektricheskih_2013.pdf
Size:
422.31 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Download
Коллекции
Авторефераты диссертаций