Publication: Численное моделирование фотоэлектронной эмиссии от наноструктурированной поверхности
Дата
2024
Авторы
Лукьянцев, Д. С.
Лубенченко, А. В.
Иванов, Д. А.
Иванов, Д. А.
Павлов, И. Н.
Павлов, О. Н.
Лубенченко, О. И.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Аннотация
Предложена новая методика обработки рентгеновских фотоэлектронных спектров, которая основана на модели мишени со стохастическим поверхностным слоем. Смоделированы рентгеновские фотоэлектронные спектры от многослойных многокомпонентных металлических мишеней с неоднородным поверхностным слоем для различных углов зондирования с учетом эффектов затенения поверхности. По усовершенствованной методике анализа поверхности методом РФЭС с угловым разрешением получен послойный фазовый профиль металлических образцов. Результаты подтверждены методом АСМ.
Описание
Ключевые слова
АСМ , РФЭС , Послойный фазовый анализ , Фотоэлектронная эмиссия , Наноструктурированная поверхность , Тонкие пленки
Цитирование
Численное моделирование фотоэлектронной эмиссии от наноструктурированной поверхности / Лукьянцев, Д. С. и др.// Ядерная физика и инжиниринг. - 2024. - 15, 4. - С. 400–408