Publication: УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ И СОДЕРЖАНИЯ ВОДОРОДА В ОСАЖДАЕМЫХ ИЗ ПЛАЗМЫ ПЛЁНКАХ
Дата
2022
Авторы
Крат, С. А.
Гаспарян, Ю. М.
Пришвицын, А. С.
Степанова, Т. В.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Аннотация
Изобретение относится к устройствам для изучения взаимодействия пристеночной плазмы установок с магнитным удержанием с контактирующими с плазмой материалами. Технический результат изобретения заключается в расширении функциональных возможностей. Устройство для измерения поверхностного сопротивления и содержания водорода в осаждаемых из плазмы пленках содержит вакуумный ввод линейного движения, на выходе которого расположен собирающий элемент, включающий в себя мишень с закрепленным на ней датчиком измерения температуры и нагреватель, заключенный в защитный кожух, собирающий элемент окружен цилиндрическим экраном для защиты от воздействия плазмы, при этом на одной из торцевых поверхностей расположена диафрагма, за которой вплотную к ней внутри цилиндрического экрана установлена мишень, представляющая собой молибденовую пластину толщиной не более 1 мм, причем на внешнюю поверхность мишени, обращенную к диафрагме, нанесено защитное диэлектрическое покрытие, поверх защитного диэлектрического покрытия нанесены электроды для измерения поверхностного сопротивления по методу ван дер Пау, за внутренней поверхностью мишени расположен радиационный нагреватель для нагрева мишени до температуры более 1000°С. 1 ил.
Описание
Патент на изобретение
Ключевые слова
Патент , Плазма , Оптические средства , Устройство
Цитирование
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ И СОДЕРЖАНИЯ ВОДОРОДА В ОСАЖДАЕМЫХ ИЗ ПЛАЗМЫ ПЛЁНКАХ / Крат, С. А. [и др.].-№2020142789; Заявл. 24.12.2020.-2022