Publication:
Combination of ceramic laser micromachining and printed technology as a way for rapid prototyping semiconductor gas sensors

Дата
2021
Авторы
Fritsch, M.
Mosch, S.
Vinnichenko, M.
Trofimenko, N.
Samotaev, N.
Oblov, K.
Dzhumaev, P.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт ядерной физики и технологий
Цель ИЯФиТ и стратегия развития - создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области ядерной физики и технологий, радиационного материаловедения, физики элементарных частиц, астрофизики и космофизики.
Выпуск журнала
Аннотация
© 2021 by the authors. Licensee MDPI, Basel, Switzerland.The work describes a fast and flexible micro/nano fabrication and manufacturing method for ceramic Micro-electromechanical systems (MEMS)sensors. Rapid prototyping techniques are demonstrated for metal oxide sensor fabrication in the form of a complete MEMS device, which could be used as a compact miniaturized surface mount devices package. Ceramic MEMS were fabricated by the laser micromilling of already pre-sintered monolithic materials. It has been demonstrated that it is possible to deposit metallization and sensor films by thick-film and thin-film methods on the manufactured ceramic product. The results of functional tests of such manufactured sensors are presented, demonstrating their full suitability for gas sensing application and indicating that the obtained parameters are at a level comparable to those of industrial produced sensors. Results of design and optimization principles of applied methods for micro-and nanosystems are discussed with regard to future, wider application in semiconductor gas sensors prototyping.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Combination of ceramic laser micromachining and printed technology as a way for rapid prototyping semiconductor gas sensors / Fritsch, M. [et al.] // Micromachines. - 2021. - 12. - № 12. - 10.3390/mi12121440
URI
https://www.doi.org/10.3390/mi12121440
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85120179558&origin=resultslist
 http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=Alerting&SrcApp=Alerting&DestApp=WOS_CPL&DestLinkType=FullRecord&UT=WOS:000736257500001
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/25027
Коллекции
Публикации