Publication: Исследование технологических основ травления гетероэпитаксиальных структур на основе InP
Дата
2018
Авторы
Арутюнян, А. А.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Аннотация
Описание
Уровень образования: бакалавриат; Код направления/специальности: 14.03.02; Группа: Б14-402
Ключевые слова
ВКР , Выпускная квалификационная работа
Цитирование
Арутюнян, А. А. Исследование технологических основ травления гетероэпитаксиальных структур на основе InP : Выпускная квалификационная работа, бакалавриат, 14.03.02 / А. А. Арутюнян ; рук. работы Каргин Н.И., 2018