Publication: Исследование аномальной температурный зависимости дислокационной люминесценции в кремнии
Дата
2023
Авторы
Зотов, А. А.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Аннотация
В работе исследуется ранее обнаруженный эффект аномальной температурной зависимости дислокационной люминесценции в кремнии. В качестве исследуемых образцов используются монокристаллы кремния с созданной методом ионной имплантации и последующих отжигов дислокационной структурой, дополнительно имплантированные бором. Проведены исследования влияния температуры и длительности отжигов образцов, а также дозы имплантированного бора на температурную зависимость интенсивность ДЛ.
Описание
Уровень образования: магистратура; Код направления/специальности: 03.04.02; Группа: М21-304
Ключевые слова
ВКР , Выпускная квалификационная работа
Цитирование
Зотов, А. А. Исследование аномальной температурный зависимости дислокационной люминесценции в кремнии : Выпускная квалификационная работа, магистратура, 03.04.02 / А. А. Зотов ; рук. работы Терещенко Алексей Николаевич, 2023