Publication: Исследование наноструктурированных мембран на основе нитрида и оксида кремния для создания элементов МЭМС
Дата
2017
Авторы
Ермаков, Д. С.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Аннотация
Описание
Уровень образования: магистратура; Код направления/специальности: 14.04.02; Группа: М15-409
Ключевые слова
ВКР , Выпускная квалификационная работа
Цитирование
Ермаков, Д. С. Исследование наноструктурированных мембран на основе нитрида и оксида кремния для создания элементов МЭМС : Выпускная квалификационная работа, магистратура, 14.04.02 / Д. С. Ермаков ; рук. работы Каргин Н. И., 2017