Научная группа: Лаборатория 2d наноматериалов
Загружается...
Участники
Funders
ID
Описание
Разработка прорывных технологий устройств нового поколения для силовой электроники, СВЧ, оптоэлектроники и сенсорики на основе гетероструктур AIIIN/графен/кремний. Цель – создание унифицированной, низкозатратной технологии производства силовых, СВЧ, оптоэлектронных и сенсорных устройств различного назначения на основе гетероэпитаксиальных AIIIN структур и графена в комбинации с кремниевой КМОП технологией за счёт формирования высококачественных наноразмерных SiC и SiC/графен буферных слоёв на подложках кремния.