Персона:
Лещев, Сергей Валерьевич

Profile Picture
Email Address
Birth Date
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт фундаментальных проблем социо-гуманитарных наук
Институт фундаментальных проблем социо-гуманитарных наук (ИФП СГН) был создан в 2022 году для решения стратегических задач развития НИЯУ МИФИ. Основной целью создания ИФП СГН является повышение качества гуманитарного образования. В связи с этим, в число приоритетных задач Института входит: консолидация гуманитарных ресурсов НИЯУ МИФИ; курирование междисциплинарных исследований и проектов.
Статус
Фамилия
Лещев
Имя
Сергей Валерьевич
Имя

Фильтры

20192
2
Сброс фильтров

Настройки

Автор: Захарченко, Роман Викторович × Имеет файлы: No ×

Результаты поиска

Теперь показываю 1 - 2 из 2
  • Уменьшенное изображение
    Публикация
    Только метаданные
    Thermal stability of tantalum nitride based thin film resistors
    (2019) Shostachenko, S. A.; Zakharchenko, R. V.; Ryzhuk, R. V.; Leshchev, S. V.; Захарченко, Роман Викторович; Рыжук, Роман Валериевич; Лещев, Сергей Валерьевич
    © 2019 Published under licence by IOP Publishing Ltd. Tantalum nitride thin films were deposited on Al2O3 substrates by the dc-magnetron sputtering technique. The nitrogen content in the argon/nitrogen flow varied from 5 to 50%. Structural properties were studied using X-ray diffraction. The ratio of Ar:N2 was 4:1; the ratio of Ta:N became 1:1. Sheet resistance depends on thickness and is in the range of 20 - 80 Ω/□ due to thickness 100 - 50 nm. The TaN films deposited at a nitrogen/argon ratio of 20% show the thermal stability of the resistance in the 25-400°C temperature range. Sheet resistance degradation was ∼ 5%. The TCR value was determined in the range of 25 - 300 C and was equal to - 21 ppm/K.
  • Уменьшенное изображение
    Публикация
    Только метаданные
    Temperature influence on process of Ti/Al/Ni/Au contact formation to heterostructure AlGaN/GaN
    (2019) Shostachenko, S. A.; Porokhonko, Y. A.; Zakharchenko, R. V.; Leshchev, S. V.; Maslov, M. M.; Katin, K. P.; Захарченко, Роман Викторович; Лещев, Сергей Валерьевич; Маслов, Михаил Михайлович; Катин, Константин Петрович
    © 2019 Published under licence by IOP Publishing Ltd. This paper is dedicated to the experimental investigation of Ohmic contacts to the n+-doped region of the AlGaN/GaN transistor heterostructure based on Ti/Al/Ni/Au metallization. The Al-Ti-N system has been assessed on the basis of available thermodynamic descriptions for binary subsystems. The effect of annealing temperature on the specific resistance of Ohmic contact was studied.